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陕西快乐十分赚钱技巧:日本DISCO公司開發出激光新技術

更新日期:2006-12-08  作者:  來源:光學精密機械網(www.uvcfk.com)收集整理

    日本DISCO公司開發出了從晶圓上切割使用藍寶石底板的高亮度LED時提高成品率的新技術(發布資料)。先用激光在GaN類LED等使用的藍寶石底板上形成深15~30μm的溝道,通過加壓以溝道為起點切割芯片。 

  一次可處理312枚晶圓 

  DISCO開發的技術由于激光加工精度高,因此在切割過程中不會造成成品率下降。而過去常用的利用金剛石結晶作為切割起點而在晶圓上刻出傷痕的方法由于加工精度低,容易造成成品率下降。 

  處理量也比過去高。一次可對312枚直徑50mm(2英寸)的藍寶石底板進行切割??賞貝?6枚粘有12枚底板的環形框架。過去通常都是在1枚環形框架上粘1枚藍寶石底板進行處理。 

  此次開發的技術是通過對DISCO為防止使用low-k膜的光盤薄膜出現剝落而開發的激光光學系統進行改良而成的。該公司將在2006年12 月6~8日舉辦的“2006年日本半導體設備與材料展覽會暨研討會(SEMICON JAPAN 2006)”上展出利用此技術加工的樣品。
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